專注高端激光切割機
研發(fā)、生產(chǎn)、咨詢、銷售
12寸晶圓劃片機主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、LED芯片、太陽能電池、電子基片等的劃切,其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。
隨著中國產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級步伐的逐步加快,在國家政策及金融資本的大力支持下,國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)近年來持續(xù)高速發(fā)展,作為半導體產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節(jié),半導體設(shè)備的國產(chǎn)化需求日益凸顯。
近年來光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,高集成度和高性能的半導體晶圓需求不斷增長,硅、碳化硅、藍寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應(yīng)用于半導體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高,晶圓趨向于輕薄化,傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用,于是在部分工序引入了隱形切割技術(shù)。
而隱形切割首發(fā)于博特激光研制的我國首臺半導體隱形晶圓切割機,實現(xiàn)了切割精細程度達到驚人的2μm工藝,并且兼容12、8、6英寸材料切割。開啟了我國晶圓切割行業(yè)發(fā)展,填補了國內(nèi)的技術(shù)空白,甚至在關(guān)鍵性能參數(shù)上都處于國際領(lǐng)先水平,一直依賴進口的局面也將被打破。
半導體產(chǎn)業(yè)被稱為國家工業(yè)的明珠,晶圓切割則是半導體封測工藝中不可或缺的關(guān)鍵工序。與傳統(tǒng)的切割方式相比,博特科技的切割技術(shù)可以避免對晶體硅表面造成損傷,并且具有加工精度高、加工效率高等特點,可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。
晶圓切割機獨特優(yōu)勢:
1、高剛性龍門式結(jié)構(gòu);
2、雙鏡頭自動影像系統(tǒng);
3、軟件功能進一步強化;
4、自動化程序顯著提升;
5、旋轉(zhuǎn)軸采用DD馬達驅(qū)動;
6、可廣泛滿足各種加工工藝需求;
7、配置1.8KW(2.4KW選)大功率直流主軸;
8、適用于12英寸、8英寸和6英寸的精密切割;
9、采用超高精密級滾柱型導軌和滾珠型絲桿;
該裝備可廣泛應(yīng)用于高能集成電路產(chǎn)品,包括CPU制造、圖像處理IC、汽車電子、傳感器、新世代內(nèi)存的制造,對解決我國半導體領(lǐng)域內(nèi)高端智能裝備“卡脖子”問題起到顯著作用。
半導體行業(yè)對于技術(shù)的需求是巨大的,美國方面就憑借著自身的技術(shù)優(yōu)勢,不斷打擊國內(nèi)的半導體芯片企業(yè)發(fā)展,中興、華為等都曾經(jīng)受過美國的限制,而現(xiàn)在國內(nèi)的半導體晶圓切割技術(shù)又向前邁了一大步(國之富強,不負厚望)。
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